ISO 14644-3:2005 utvrđuje metode ispitivanja, koje se mogu koristiti za čiste sobe kao što je opisano u drugim delovima serije standarda ISO 14644. Deo 3 standarda ISO 14644 definiše metode ispitivanja za klasifikaciju određenih čestica u vazduhu i za karakterizaciju performansi čistih soba i čiste zone. Performanse su navedeni testovi za dva tipa čistih soba i čistih zona. Metode ispitivanja preporučuju testiranje aparata i test procedure za određivanje parametara.

Istovetan je SRPS EN ISO 14644-3:2010.